PVM-D вакуумная установка для нанесения алмазоподобных покрытий

Установка вакуумная специальная модели PVM-DУстановка предназначена для нанесения алмазоподобных износостойких покрытий вакуумно-плазменным способом. Установка образца 2008 года.Установка может эксплуатироваться в закрытых сухих помещениях промышленных объектов категории 4.2 по ГОСТ 15150-69 при климатических условиях: Температура окружающей среды от 17 0С до 27 0С; относительной влажности от 40 до 75% атмосферном давлении от 9,6х104 Па (720 до 780 мм. рт. ст.)В состав установки входит:- откачной пост (с высоковакуумными средствами откачки, вакуумной системы и пневмогидроаппаратурой (SMC);- импульсный источник углеродной плазмы; - электродуговой испаритель с инверторным источником питания;- низкоэнергетический ионный источник «АИДА»; - форвакуумный агрегат (2НВР-5ДМДВН050); электрооборудование:- контроллер управления откачным постом и технологическими источниками «Siemens 7-224» (сенсорная панель управления);- микропроцессорное устройство напуска реактивных газов с автоматическим поддержанием рабочего давления (2-канала с ОС, ШИМ - управление);- микропроцессорный регулятор температуры в вакуумной камере;- автоматическое устройство для режима очистка осаждение.По требованию может оснащаться:- программным обеспечением для автоматизации технологических процессов;ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ1 Предельное давление в чистой, пустой и обезгаженной камере, при охлаждении ее холодной водой, Па 2.00х10-3 2 Время достижения давления 2.00х10-3 Па, мин 203 Количество источников углеродной плазмы, шт. 14 Количество дуговых испарителей, шт. 15 Ток дуги электродугового испарителя, А 10-2506 Характеристики низковольтного источника:- плавня регулировка напряжения, В- Ток, А 0-300 0-207 Напряжение высоковольтного источника в рабочем режиме:- плавня регулировка напряжения, В 0-1200 8 Энергия ионов в пучке ионного источника, эВ 0-5009 Мощность установки, кВт не более 1510 Площадь, занимаемая установкой, м2 1011 Масса установки, кг 160012 13 Республика Беларусь 231000Г. Сморгонь ул. Победы 12 телфакс +375 1592-33-77-8E-mail: forvak@mail.ru